作为中芯国际的首席技术执行,官李伟光技术水平还可以,他两眼放光盯着眼前的庞然大物,这是多么美妙的工业之花。
李伟光心想,希望这台光刻机是秀外慧中的美人,而不是金玉其外。
高致远指着光刻机介绍道:“大家眼前的这台光刻机,就是我们神光仪器研发神光1X射线光刻机,具体技术指标,想必大家已经有所了解了。”
李伟光、赵军等人当然了解,工信部的公告附件上面,就有神光1X射线光刻机的技术指标,他们半路上已经研究过。
“高总,贵方的光刻机精度真的可以达到10~7纳米?”李伟光急促的问道。
“我知道大家非常怀疑,一旁有八寸硅片,中芯国际应该有带技术员过来吧?”
李伟光点了点头。
高致远指着一侧的库房继续说道:“你们可以派人拿着硅片,和我们的员工一起进行光刻测试。”
“那我们就恭敬不如从命了。”李伟光转过头向中芯国际的人吩咐道:“张工、李工,麻烦你们了。”
俩中年技术员麻利动手,他们借助工具小心翼翼的将硅片取出。
这些硅片不仅仅价格昂贵,而且非常脆弱,别说摔地上了,哪怕是空气最好也别直接接触,因为沾染上灰尘会非常麻烦。
将两片硅片送入专门的清洁设备之中,然后涂抹光刻胶,将光刻胶摊平到一定的厚度,晾干硅片表面的光刻胶。
其中的工序非常繁杂,也不能有一丝失误,这不仅仅考验机器设备,也考验技术员的水平。
要是其中一个环节出现失误,不仅白忙活了半天,硅片、光刻胶、清洁液这些耗材就白白浪费了,这些都是真金白银。奇快妏敩
怪不得说科研就是在烧钱。
一个多小时过去,终于到了硅片光刻的步骤,一块八寸硅片被光刻机的自动化设备送入其中。
为了避免影响光刻效果,李工通过一个小窗口的透镜观察了硅片一会,便将小窗口关闭,让光刻室形成一个暗箱。
张工则在电脑上面挑选着一些掩模模板(电路图母板),随便挑选了其中一个模板,输入尺寸调整。
因为不同的芯片电路图,需要的面积不一样,因此一块硅片可以刻出多少颗芯片,是要根据实际情况来调整的。
工作人员们都是用简单的手势来交流着,在这种高精密的设备周围,哪怕是说话大声一点,都可能影响到光刻结果。
光刻开始。
大约16秒左右,被光刻完成的硅片便出现另一侧的出口。
然后又快速加工了第二块硅片,同样是16秒左右出来。
在检测室外面的赵军、李伟光、方龙等人,都紧紧盯着那两块光刻完成的硅片。
张工和李工用特制的设备,一人负责一块硅片,转移到隔壁的电镜检测室里面。
电子显微镜下,硅片上的电路图纹路和模板一模一样,唯一区别就是尺寸。
“竟然真的可以做到7纳米,不可思议。”李工看着电子显微镜惊叹道。
“不仅仅如此,X射线光刻出来的纹路非常整齐细腻,真是一个杰作。”张工补充道。
俩人对于两块硅片进行了非常全面的检测,最后生成两份检测报告。
在外面干着急的李伟光,看到俩人走出来,迫不及待的上前问道:“结果如何?”
中芯国际和海思众人紧张又期待的看着俩人,希望是好消息,而不是坏消息。
“李总,神光1X射线光刻机的精度确实达到了10~7纳米,甚至比阿斯麦的极紫外光效果更加好。”张工解释道。
呼!众人长出一口气。
李工将两份检测报告递给李伟光:“这是具体检测报告。”
中芯国际的众人连忙传阅起来。
看完详细的检测报告之后,赵军和李伟光呼吸都重了起来,这个神光1X射线光刻机比阿斯麦的顶级光刻机还更强一丝。
至少目前阿斯麦公司的顶级光刻机,在面对7纳米芯片时显得有些力不从心,而神光1X射线光刻机却游刃有余。
如果他们知道黄明哲故意限制精度,就会明白为什么会游刃有余了。
“高总,我以一个华国芯片人的身份,向你们致敬。”李伟光激动不已的说道。
作为一个华国芯片人,他们活得太憋屈了,国内外的种种压力,几乎让压得他们喘不过气了。
而神光1X射线光刻机的出现,让李伟光等人感到了扬眉吐气,终于不需要忍受那些鸟人的冷嘲热讽。
“我们不敢居功,其实这台光刻机可以诞生,社长要占90%的功劳。”高致远说得一点都不夸张。
X射线光刻机的方向是黄明哲选择的,两个关键性材料来源于光敏材料规律模型,全套软件系统和黄明哲息息相关。
另外还有思维社掌握的仿真空间技术、有限元逆分析技术,促进了神光仪器公司在整合和改进方面的实力。
尽管中芯国际和海思众人都感到非常意外,但是在场的神光仪器研究员或者员工,都一脸认同高致远的话,这种事情赵军他们没有打破沙锅问到底的想法。
“高总,不知神光1X射线光刻机的售价是多少?”赵军连忙问道。
“15亿一台。”
咕噜!赵军尽管已经有预料到神光1X射线光刻机的价格会非常高,没有想到竟然高到15亿。
当然价格高也是情有可原,神光仪器的研发经费总是要赚回来的,做生意就没有人想亏本。
不过随即他便放松下来,因为购买神光1X射线光刻机是有补贴的,国家给的补贴高达40%。
也就是说,神光1X射线光刻机15亿一台,补贴之后是9亿一台。
不过这个补贴政策暂时只有两年,而且必须是华国企业才可以拿到,另外每一台光刻机都会被登记在案,不得随意转让。
另外补贴不是直接给钱,而是企业在向神光仪器全额购买之后,国家会以减免税收的方式,抵消掉这一部分的补贴。
赵军和李伟光小声的讨论了一会,最后和神光仪器达成协议,中芯国际向神光仪器预订了10台神光1X射线光刻机,合同分两年执行。
这个合同高达150亿,而今年的5台,就是75亿订单,神光仪器的要求是50%的定金。
而且订单一下,无论购买企业要不要光刻机,神光仪器概不退款,如果无故取消订单,不仅仅定金不退,还会被纳入思维社的黑名单。
作为一个上市公司,中芯国际立马公布了向神光仪器预订了10台神光1X射线光刻机的消息。
这个巨额订单不仅仅砸晕了全世界,更是刺激得中芯国际的股票暴涨,当天股价飙升16%。 奇快文学为你提供最快的超维科技纪元更新,第六十九章 巨额订单免费阅读。https://www.xqikuaiwx1.com
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